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氣體質量流量計，該儀器無需溫壓補償，就能直接測出氣體的質量流量，避免了溫度、壓力變化對測量結果的干擾，在復雜實驗條件下表現好

Alicat 大流量氣體流量計測量范圍廣，可達 0.5 SCCM - 10000 SLPM。采用內部補償型層流壓差技術，能使大流量下氣體保持層流。內置絕壓和溫度傳感器，可對壓力、溫度引起的流量差異進行補償。具有 NIST 可溯源校準證書。產品為數字化設計，可多參數顯示和輸出，響應時間快，內置多種氣體，還可現場標定混合氣體，廣泛應用于工業爐窯、半導體、汽車制造等多種流量測控場合。